枣庄蔡司公司*新推出Sigma300场发射扫描电镜采用成熟的GEMINI光学系统设计,将低电压成像技术发挥到了极 致,采用适宜的探针电流范围,降低50%的信噪比从而提升了85%的衬度信息。Sigma300将高 级的分析性能与场发射扫描技术相结合,多种探测器可选:用于颗粒、表面或者纳 米结构成像。Sigma自动的四步工作流程大大节省了设置与分析操作的时间,提高 效率。
产品应用
扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等 检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分 析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体、晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶 粒取向测量。
技术参数
▪ 分辨率:1.2nm @15 kV 2.2nm @1kV
▪ 放大倍数:10-1,000,000×
▪ 加速电压:调整范围:0.02-30 kV(无需减速模式实现)
▪ 探针电流:4pA-20nA (40nA&100nA可选)
▪ 低真空范围:2-133Pa (Sigma 300VP可用)
▪ 样品室:365 mm(φ),275mm(h)
▪ 样品台:5轴优中 心全自动
▪ X=125mm
▪ Y=125 mm
▪ Z=50 mm
▪ T=-10º-90º
▪ R=360º 连续
▪ 系统控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制